▲ 미쓰비시 일렉트릭의 'MEMS 라이다'(사진=미쓰비시 일렉트릭)

일본 전자제품 제조업체인 미쓰비시 일레트릭(Mitsubishi Electric)이 MEMS(Micro-Electro Mechanical Systems · 마이크로 전기기계 장치)가 장착된 새로운 소형 라이다를 개발했다고 '디지털 저널' 등 매체들이 보도했다.

이번에 개발한 라이더는 레이저로 물체를 비춰 반사된 빛을 스캔하며 2축 MEMS 미러로 보행자 및 기타 차량에 대한 3D이미지를 생성한다. 특히 폭이 넓은 수평 스캐닝 앵글 덕분에 물체의 모양 및 거리를 감지하는 데 있어 정확도가 높다. 자율주행차량의 안전 및 보안을 강화하기 위해 이 저비용 소형 장비를 개발했다는 게 회사 측 설명이다.

미쓰비시는 해당 라이다에 사업현장에서 가장 큰 크기인 7mm x 5mm MEMS 미러를 사용했다. 이 미러는 대형 2축 전자기기로, 넓은 스캔 각도를 허용하도록 경량설계 됐다. 이로써 차량주변을 모니터링는 하는 데 있어 정확성이 높아졌다. 수직으로는 ±3.4도, 수평으로는 ±15도까지 움직인다. 모터로 구동되는 미러보다 부품도 적어 라이다의 내구성을 높이는 데 기여한다. 반도체 공정기술이 적용된 실리콘 기판으로 대량생산도 가능하다.

▲ 이번에 개발한 라이다가 생성한 3D 이미지

MEMS 미러는 여러 광검출기, 렌즈, 레이저 광원 등의 광학 구성요소들과 최적화된 조합을 이루고 있다. 이는 내부 구성요소들에 의한 광학적 흐림 현상(optical vignetting)을 억제하고 레이저 광선의 왜곡이 발생하지 않도록 한다. 또 폭 넓은 수평 앵글을 달성함으로써 접근하거나 전방에 위치한 차량뿐 아니라 신호등, 표지판, 보행자 등의 장애물을 효과적으로 스캐닝 한다.

향후 미쓰비시 일렉트릭은 MEMS 미러의 구조물을 개선해 수직이동 각도를 ±6.0도 이상으로 높이고 900cc용적을 필요로 했던 라이다를 350cc이하로 축소할 계획이다.