중국 로봇 기업 여우이봇(YOUIBOT, 优艾智合)이 반도체 공장의 물류를 위한 로봇 시스템을 내놨다.

25일 중국 언론 CCTIME에 따르면 중국 이동로봇기업인 여우이봇(YOUIBOT, 优艾智合)은 올들어 슬램(SLAM) 레이저 내비게이션을 지원하는 전방향 이동형 로봇을 발표한 데 이어 반도체 공장 내에서 유연하고 효율적으로 물자 운송 임무를 할 수 있는 전방향 이동 제어 로봇을 내놓았다.

업계 관계자에 따르면, 최근 주요 반도체 팹들은 생산을 확대하고 효율성을 높이기 위해 물류 자동화 수준을 높이고 있다. 특히 공장 물류 자동화를 위한 웨이퍼 운반 차량은 1세대 가이드 레일 AGV에서 3세대 군집형 AMR 매트릭스 방식으로 진화했다.

중국에서도 일부 8인치 및 12인치 공장의 제품 수율 및 생산능력 가동률이 자동화에 힘입어 개선되고 있다.

반도체 부문에서 3세대 AMR은 기존의 단일 기기 작업에서 군집형 협업으로 획기적인 발전을 이뤘다. 대규모 협업을 통해 공장에서 자동 자재 처리 작업을 수행하면서 현장 전반의 물류 처리 효율성을 높인다. 이러한 AMR의 군집화 및 대규모화는 반도체 물류 자동화 기술의 핵심 연구 방향으로서, 종합적인 물류 효율성을 높이고 있다.

여우이봇 관계자에 따르면, 공장 전체의 종합적인 물류 효율성을 높이기 위해 로봇 소프트웨어와 하드웨어를 포함한 전체 공장의 지능형 시스템 통합이 강조되고 있다. 여우이봇은 반도체 생산 공정을 위해 6종류의 서로 다른 성능을 가진 로봇 표준 형태를 만들었다. 업계의 진동값 0.5G, 클래스100(1입방 피트에 머리카락 직경 1000분의 1크기 먼지가 100개 이하), 그리고 밀리미터 이하의 정밀도와 안전성 등을 충족시켰다고 한다. 이를 토대로 플랫폼 기반 AMR을 개발, 통합 운영 시스템인 ‘MOR’을 플랫폼으로 다양한 형태의 복합 이동 로봇의 통합을 지원할 수 있도록 했다.