´ë±¸°æºÏ°úÇбâ¼ú¿ø(DGIST) ¿¬±¸ÆÀÀÌ ¼¶¸ð¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ¿òÁ÷À̴ ¤½Å¹ú·¹Ã³·³ ¾à¹° ¹× ¼¼Æ÷¸¦ Àü´ÞÇÏ°í, Á¤È®ÇÑ Á¦¾î°¡ °¡´ÉÇÑ ‘¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿’À» °³¹ßÇß´Ù.
DGIST´Â ·Îº¿°øÇÐÀü°ø ÃÖÈ«¼ö ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀÌ Â¤½Å¹ú·¹ÀÇ ¼¶¸ð¿îµ¿À» ¸ð¹æÇØ Ç÷¾× µî°ú °°ÀÌ Á¡¼ºÀÌ ³ôÀº ü³» À¯Ã¼ ȯ°æ ³»¿¡¼ ÃßÁøÈ¿À²ÀÌ ¶Ù¾î³ ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿À» °³¹ßÇß´Ù°í 2ÀÏ ¹àÇû´Ù.
|
|
|
¡ã ÃÖÈ«¼ö±³¼ö |
ÃÖÈ«¼ö ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº Ãʹ̼¼ 3Â÷¿ø °¡°ø±â¼ú ¹× ºñ´ëĪÀû ÀÚ±âÀå ±¸µ¿ ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇØ Áö±Ý±îÁö ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿¿¡ ±¸ÇöÇÏÁö ¸øÇÏ°í ÀÌ·ÐÀûÀ¸·Î¸¸ ¾Ë·ÁÁø ¹Ì»ý¹°ÀÇ ¼¶¸ð¿îµ¿À» Àû¿ëÇØ ¼¼°è ÃÖÃÊ·Î ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿À» Á¦ÀÛÇϴµ¥ ¼º°øÇß´Ù.
¹Ì»ý¹°ÀÌ À¯¿µÇÏ´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î À¯Ã¼ ȯ°æÀº ÀÎüÀÇ ³»ºÎ À¯Ã¼Ã³·³ Á¡¼ºÀÌ ¸Å¿ì ³ôÀº ȯ°æÀ¸·Î °Å½ÃÀû ȯ°æ¿¡¼ »ç¶÷°ú °°Àº Å« µ¿¹°ÀÌ ¼ö¿µÇÒ ¶§ È°¿ëÇÏ´Â °ü¼º ±â¹Ý ´ëĪÀû ³ëÁ£±â ¿îµ¿°ú °°Àº À¯¿µ¹ýÀ¸·Î´Â ÃßÁø·ÂÀ» ¸¸µé¾î³»±â Èûµé´Ù. ÀÌ·Î ÀÎÇØ, ¹Ì»ý¹°Àº ³ª»ç¼± ÃßÁø¿îµ¿, ÁøÇàÆĵ¿¿îµ¿, ¼¶¸ðÀÇ ºñ´ëĪÀû ¿Õº¹¿îµ¿ µîÀÇ ÃßÁø¹ýÀ» È°¿ëÇØ Á¡¼ºÀÌ ³ôÀº ȯ°æ¿¡¼ À̵¿ÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¹Ì»ý¹°ÀÇ ÃßÁø¹æ¹ýÀÎ ³ª»ç¼± ÃßÁø¿îµ¿, ÁøÇàÆĵ¿¿îµ¿À» Àû¿ëÇÑ ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿Àº ½ºÀ§½º Ã븮È÷¿¬¹æ°ø°ú´ëÇÐ, ³×µ¨¶õµå Æ®º¥Å×´ëÇÐ, ¹Ì±¹ ÇϹöµå´ëÇÐ µî¿¡¼ ±¸ÇöÇßÀ¸³ª, ¼¶¸ð¿îµ¿À» È°¿ëÇØ ¾ÕÀ¸·Î ³ª¾Æ°¡´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ °³¹ßÀº ´Ù¼öÀÇ ¼¶¸ð°¡ ´Þ¸° ¹Ì¼¼±¸Á¶¹° Á¦ÀÛ ¹× ºñ´ëĪÀû ±¸µ¿ÀÇ ¾î·Á¿ò µîÀ¸·Î ¾ÆÁ÷±îÁö ¼¼°èÀûÀ¸·Î °³¹ßÇÑ »ç·Ê°¡ ¾ø¾ú´Ù.
ÃÖÈ«¼ö ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº 3Â÷¿ø ·¹ÀÌÀú °øÁ¤ ±â¼ú ¹× Á¤¹Ð ±Ý¼Ó ÄÚÆÃÀ» ÀÌ¿ëÇØ ±¤°æȼºÆú¸®¸Ó ¼ÒÀç¿¡ ´ÏÄÌ°ú ƼŸ´½À» ÄÚÆÃÇÑ ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿À» Á¦ÀÛÇß´Ù.
¶ÇÇÑ, ºñ´ëĪÀû ÀÚ±âÀå Àΰ¡ ±â¼úÀ» È°¿ëÇØ ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ ¿òÁ÷ÀÓÀ» ÃøÁ¤ÇÑ °á°ú ¼Óµµ ¹× ÃßÁøÈ¿À²ÀÌ ±âÁ¸ÀÇ ÀÚ±âÀå ²ø¸² ±¸µ¿ ¹æ½ÄÀ¸·Î ¿òÁ÷ÀÌ´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿¿¡ ºñÇØ ¿ùµîÈ÷ ³ô´Ù´Â »ç½ÇÀ» È®ÀÎÇß´Ù.
±æÀÌ°¡ 220 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ, ³ôÀÌ°¡ 60 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍÀÎ ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ ÃÖ´ë¼Óµµ´Â ÃÊ´ç 340 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ·Î ±âÁ¸¿¡ »ç¿ëÇØ¿Ô´ø ÀÚ±âÀå ²ø¸² ±¸µ¿ ¹æ½ÄÀ¸·Î ¿òÁ÷ÀÌ´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿¿¡ ºñÇØ ÃÖÀú 8.6¹è¿¡¼ ÃÖ´ë 25.8¹èÀÇ À̵¿¼Óµµ·Î ¿òÁ÷ÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
|
|
|
¡ã (±×¸²1)3Â÷¿ø ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ Àåºñ ¹× ±Ý¼Ó Sputtering °øÁ¤À» ÀÌ¿ëÇÑ ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ Á¦ÀÛ ±â¼ú °³¹ß.(a) ¼¶¸ð¿îµ¿À» ÅëÇØ ÃßÁøÇϴ ¤½Å¹ú·¹ÀÇ ÀüÀÚÇö¹Ì°æ(SEM) »çÁø(b) ¤½Å¹ú·¹¸¦ ¸ð¹æÇÑ ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ ¼³°èµµ(c) 3Â÷¿ø ·¹ÀÌÀú ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ ¹× ±Ý¼Ó Sputtering °øÁ¤À» ÅëÇØ Á¦À۵Ǵ ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ °øÁ¤ °³¿äµµ(d) ½ÇÁ¦ Á¦ÀÛµÈ ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ ÀüÀÚÇö¹Ì°æ»çÁø(3Â÷¿ø view, Scale bar=100 μm), (e) ½ÇÁ¦ Á¦ÀÛµÈ ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ ÀüÀÚÇö¹Ì°æ»çÁø (Top view, Scale bar=100 μm) |
|
|
|
¡ã (±×¸²2)ºñ´ëĪÇü ¿Õº¹ ÀÚ±âÀå Àΰ¡¸¦ ÅëÇÑ ¼¶¸ð¿îµ¿À» ±¸Çö(a) ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ ÀÚ±âÀå Á¦¾î, ÀÚ±âÀåÀÌ ÈĹæÀ¸·Î Àΰ¡µÉ ¶§ ¼¶¸ð´Â µÚÂÊÀ¸·Î ÈÖ¾îÁü, (b) ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ ÀÚ±âÀå Á¦¾î, ÀÚ±âÀåÀÌ À§ÂÊÀ¸·Î Àΰ¡µÉ ¶§ ¼¶¸ð´Â À§ÂÊÀ¸·Î ÈÖ¾îÁü, À§ÀÇ µÎ ÀÚ±âÀå ¹æÇâÀ» ¿Õº¹ÇÏ¿© Àΰ¡ÇÏ¸é ºñ´ëĪÀû ¼¶¸ðÀÇ ³ëÁ£±â¿îµ¿À» ÇÔ(c) Àΰ¡µÈ ÀÚ±âÀå °¢µµ¿¡ µû¸¥ ¼¶¸ð°¡ ÈÖ¾îÁö´Â °¢µµ °è»ê°á°ú(d) Àΰ¡µÈ ÀÚ±âÀå °¢µµ¿¡ µû¸¥ ¼¶¸ð°¡ ³»´Â ÀÚ±âÈû °è»ê°á°ú(e) ¼¶¸ð°¡ ÈÖ¾îÁö´Â °¢µµ¿¡ µû¸¥ ÀÚ±âÈû °è»ê°á°ú |
|
|
|
¡ã (±×¸²3)¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ ÀÚ±âÀå Á¦¾î Àå¸é(a) ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ ÀÚ±âÀå Á¦¾î ºñµð¿À ĸÃÄȸé, ¿Õº¹ ÀÚ±âÀå ±¸µ¿¿¡ ÀÇÇØ Á÷¼±¿îµ¿ÇÏ´Â ¸ð½À(b) ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ ÀÚ±âÀå Á¦¾î ºñµð¿À ĸÃÄȸé, ¿Õº¹ ÀÚ±âÀå ÃàÀÇ È¸Àü¿¡ ÀÇÇØ È¸Àü¿îµ¿ÇÏ´Â ¸ð½À(c) DGIST ±ÛÀÚ¸¦ µû¶ó ¿îµ¿ÇÑ ¼¶¸ð·Îº¿ÀÇ ±ËÀûÀ» ÇÕÄ£ ±×¸² |
|
|
|
¡ã (±×¸²4)¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿ÀÇ ±¸Ã¼ ¿î¼Û ½ÇÇè(a) ·Îº¿ÀÌ ±¸Ã¼¿¡ ´Ù°¡°¨(b) ·Îº¿ÀÌ ±¸Ã¼¸¦ ¹Ð°í °¡±â ½ÃÀÛÇÔ(c) ·Îº¿ÀÌ ¸ñÀûÁö¿¡ µµ´ÞÇÑ µÚ Á¦ÀÚ¸® ȸÀüÀ» ÅëÇØ ±¸Ã¼¸¦ ¶³Ãij¿(d) ±¸Ã¼¿Í ºÐ¸®µÈ ¼¶¸ð ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿¡Ø ºÓÀº ¼±Àº ·Îº¿ÀÌ Áö³ª°£ ±ËÀû |
ÀÚ±âÀåÀ» ÀÌ¿ëÇÑ ½ÇÇè¿¡¼ ¹æÇâ Àüȯµµ ÀÚÀ¯ÀÚÀç·Î °¡´ÉÇØ Á÷°æ 80 ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍÀÇ ±¸Ã¼¸¦ ¹Ð¾î¼ ¸ñÇ¥ ÁöÁ¡¿¡ Àü´ÞÇÒ ¼ö ÀÖ¾î, Á¡¼ºÀÌ ³ôÀº ü³» ȯ°æ¿¡¼ Áö±Ý±îÁö °³¹ßµÈ ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿µéº¸´Ù ¸¹Àº ¾çÀÇ ¾à¹° ¹× ¼¼Æ÷¸¦ ¸ñÇ¥ ÁöÁ¡±îÁö Àü´ÞÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
DGIST ·Îº¿°øÇÐÀü°ø ÃÖÈ«¼ö ±³¼ö´Â “Áö±Ý±îÁö ±¸ÇöÇÏÁö ¸øÇß´ø ¼¶¸ðÀÇ ºñ´ëĪÀû ¿Õº¹¿îµ¿À» ¸ð¹æÇÑ ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿À» Á¤¹Ð 3Â÷¿ø Á¦ÀÛ±â¼ú ¹× ÀÚ±âÀå Á¦¾î ±â¼úÀ» ÅëÇØ °³¹ßÇß´Ù”¸ç “ü³»¿¡¼ È¿À²ÀûÀ¸·Î ¿òÁ÷ÀÌ°í ÀÛµ¿ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î·Îº¿À» ²ÙÁØÈ÷ ¿¬±¸ÇØ ¾à¹° ¹× ¼¼Æ÷ Àü´Þ, ü³» ºñħ½ÀÀû ¼ö¼ú µî¿¡ È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ³ë·ÂÇÏ°Ú´Ù”°í ¸»Çß´Ù.
À̹ø ¿¬±¸ ¼º°ú´Â ³×ÀÌóÀÇ ÀÚ¸ÅÁöÀÎ ‘»çÀ̾ðƼÇÈ ¸®Æ÷Æ®(Scientific Reports)’ Áö³´Þ 29ÀÏÀÚ ¿Â¶óÀÎÆÇ¿¡ °ÔÀçµÆÀ¸¸ç DGIST ·Îº¿°øÇÐÀü°ø ÃÖÈ«¼ö ±³¼ö°¡ ±³½ÅÀúÀÚ, ·Îº¿°øÇÐÀü°ø ±è»ó¿ø ¹Ú»ç°úÁ¤ ÇлýÀÌ Á¦1ÀúÀÚ·Î Âü¿©Çß´Ù. |