ÀϺ» Æijª¼Ò´ÐÀº »ê¾÷¿ë ·Îº¿ ¹× ¼ºñ½º ·Îº¿ µîÀÇ ÀÚ¼¼ °ËÃâ ¹× À§Ä¡ ÃßÁ¤ÀÌ °¡´ÉÇÑ ‘µ¿ÀÛ ¼¾½Ì ÀåÄ¡’¸¦ °³¹ßÇß´Ù°í ¹ßÇ¥Çß´Ù. °íÁ¤¹Ð ¼¾½Ì ±â´É°ú µ¶ÀÚÀûÀÎ ¾Ë°í¸®ÁòÀ» ÅëÇÕÇÑ ÀåÄ¡·Î, °í°´ÀÇ »ç¿ë ¿ëµµ¿¡ µû¶ó ¸Å°³ º¯¼ö °ªÀ» ¼³Á¤ÇÑ »óÅ·ΠÁ¦°øÇÏ´Â °ÍÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ¿ÃÇظ» »ùÇà ÆǸſ¡ µé¾î°£´Ù.
·Îº¿ ¾÷üµéÀÌ ·Îº¿¿¡ °íÁ¤¹Ð ¸ð¼Ç °¨Áö ±â´ÉÀ» žÀçÇϱâ À§ÇØ ÀÚÀÌ·Î ¼¾¼¿Í °¡¼Óµµ ¼¾¼ µîÀÇ ÀåÄ¡¸¦ ±¸ÀÔÇÏ°í, À̸¦ Á¦¾îÇÏ´Â ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¸¦ °³¹ßÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ÀÖ´Ù. Á¤È®ÇÑ ÀÚ¼¼ Á¤º¸¸¦ ¾ò±â À§ÇØ ÇÊ¿äÇÑ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ¼³°è ºÎ´ãÀÌ Å©´Ù. ÀÌ ¶§¹®¿¡ °³¹ß ±â°£°ú ºñ¿ëÀÇ Áõ´ë¸¦ ÃÊ·¡ÇÑ´Ù. À̹ø¿¡ °³¹ßµÈ µ¿ÀÛ¼¾½Ì ÀåÄ¡¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¸é ·Îº¿ °³¹ßÀÇ ºÎ´ãÀ» °æ°¨ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ Á¦Ç°Àº Á¤¹Ð °¡°ø ½Ç¸®ÄÜ MEMS °¨Áö ¼ÒÀÚ¸¦ äÅÃÇÑ ÀÚÀÌ·Î ¼¾¼¿Í °¡¼Óµµ ¼¾¼¸¦ žÀçÇÏ°í ÀÖ´Ù. °í¼Ó ÀÀ´ä°ú °íÁ¤¹Ðµµ °ËÃâ ±â´ÉÀ» ¾ç¸³ÇÑ µ¶ÀÚÀûÀÎ ¾Ë°í¸®ÁòÀ» äÅÃÇß´Ù. XYZ ¹æÇâÀÇ 3Ãà ȸÀü ¿îµ¿°ú 3Ãà Á÷¼± ¿îµ¿¿¡ ¸ÂÃç 6Ãà °ËÃâ¿¡ ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. |