중국 여우이봇(YOUIBOT, 优艾智合机器人)은 웨이퍼 운반 로봇이 반도체 자동화 공장을 위한 해결책이 될 수 있다고 밝혔다.

여우이봇은 중국 시안(西安)에 본사를 둔 로봇 기업으로, 교육, 과학연구, 유통, 물류 등 다양한 분야에 쓰이는 자율이동로봇을 개발 및 판매하고 있다.

여우이봇에 따르면, 반도체 제조에 쓰이는 자동소재핸들링시스템(AMHSㆍAutomatic Material Handling System) 모델이 변화하면서 기존의 OHT 설비 방식의 어려움이 커지고 비용이 많이 드는 것으로 나타났다. 이에 따라 12인치 이상 웨이퍼 제조 공장을 중심으로 자율적 이동과 작동 능력을 갖춘 웨이퍼 운반 로봇의 필요성이 높아지고 있다는 지적이다.

로봇이 높은 유연성과 효율성을 기반으로 반도체 공장의 물류 자동화를 위한 대안이 되고 있는 것이다.

여우이봇은 중국내 웨이퍼 운반 로봇 전문 기업으로서 창고, 인터베이, 인트라 베이 등 자동 로딩과 언로딩 자동화 솔루션을 포함하는 반도체 생산용 웨이퍼 운반 로봇 물류를 지원하고 있다. TSMC와 SMIC 등 중화권 반도체 제조사에 서비스를 제공하고 있다.

여우이봇이 독자 개발한 융합 슬램(SLAM) 알고리즘은 밀리미터 급 정확도로 복잡한 환경에서 웨이퍼 운반 로봇의 안정적인 동작이 가능하게 한다. 업데이트와 레이아웃 조율없이 공장 확장과 장비에 적용할 수 있다.

특히 여우이봇의 TMS 소프트웨어 시스템은 실시간으로 주요 장비 데이터와 상호작용해 전체 공장의 생산 리듬에 따라 물류 주문을 지능적으로 생성 및 결합해 자재의 물류 흐름을 개선할 수 있다.

중국로봇망에 따르면 반도체 클린룸의 청결도 등 엄격한 요구 사항도 충족하면서 생산 장비의 로딩 및 언로딩 요구사항도 충족할 수 있다.

여우이봇은 웨이퍼 운반 로봇 유닛이 생산 수율을 높이면서 보다 유연한 환경을 만들 수 있는 지능을 갖췄다고 전했다. 이 회사가 2년 간 연구해 출시한 OW 시리즈는 '클래스-1' 수준의 클린룸 요구조건을 충족한다. 일반 취급시 진동 값이 0.2G 이내로 국제 SEMI 표준에서 규정한 0.5G 보다 우수한 것으로 나타났다. (제휴=중국로봇망)