▲ SEMISTAR-GEKKO) MD124D(왼쪽)과 SR200컨트롤러(사진=야스카와전기)

일본 야스카와전기(安川電機)가 반도체 웨이퍼 반송용 클린 로봇인 '세미스타-게코(SEMISTAR-GEKKO) MD124D'와 클린 로봇용 표준 컨트롤러인 'SR200'의 판매에 들어갔다.

'세미스타-게코 MD124D'는 회사의 AC 서보모터 ‘Σ-7’ 시리즈의 다이렉트 드라이브 모터(direct drive motor·DD모터)를 탑재하고있다. 다이렉트 드라이브 구동 방식은 로봇 팔에 감속기를 필요로하지 않기 때문에 진동을 억제한 고정밀 반도체 웨이퍼 반송이 가능하다. 　

기존 제품인 세미스타-MR124와 비교하면 반송시 핸드 진동이 6분의 1로 줄어들고, 절대 위치 정확도와 반복 위치 결정 정도(精度)가 2배 증가했다. 또한 기존 제품과 호환이 가능해 로봇 설치 및 반송 장치 레이아웃을 변경하지 않고 교환할 수 있다.

5축 구동 방식의 한팔 로봇으로 최소 회전 반경은 510mm이다. 적용 웨이퍼 크기는 300mm(SEMI 규격 준수 제품)이며, 수동 그립에서 웨이퍼를 파지한다. 진공 흡착 그립과 가장자리 그립도 가능하다.

컨트롤러인 SR200은 야스카와의 표준 전기 제품인 머신 컨트롤러를 채택하고 있다. 회사의 클린 로봇 전반에 적용 가능하며, 로봇의 성능을 극대화할 수 있다는 설명이다. 외형 치수는 425 × 300 × 133mm이며 기존 모델에 비해 부피와 질량이 각각 42%, 35% 감소했다. SEMI S2, S8, F47, UL61010-1 등 주요 규격을 준수했고 확장성이 향상됐다는 설명이다.

야스카와는 배터리 교체가 필요하지 않도록 배터리를 로봇에서 제거하고 프로세스 분석 및 생산성 향상을 위해 필요한 정보를 사용자가 쉽게 얻을 수 있도록 하는 등 애프터 서비스의 품질을 개선했다고 밝혔다.