로봇신문사
> 뉴스 > 산업용 로봇
쿠카, 반도체 클린룸용 모바일 매니퓰레이터 개발웨이퍼 핸들링 공정에 투입 가능
폰트키우기 폰트줄이기 프린트하기 메일보내기 신고하기
승인 2019.08.26  13:27:57
트위터 페이스북 구글+ 밴드

독일 산업용 로봇업체인 쿠카(Kuka)가 반도체 클린룸용 모바일 매니퓰레이터를 개발했다.

‘더 로봇 리포트‘에 따르면 쿠카는 웨이퍼 공정에 투입할 수 있는 모바일 메니퓰레이터를 개발했다. 웨이퍼를 보관하는 카세트를 자동으로 운반하고 핸들링할 수 있는 로봇이다. 경량급 협동 로봇인 ’LBR 이바(iiva)’와 표준형 AGV(automated guided vehicle)인 ‘KMR 200 CR’을 결합했다.

이동형 플랫폼인 ‘KMR 200 CR'은 매커넘 바퀴를 장착하고 있어 전방향 이동이 가능하다. 이동형 플랫폼에 다수의 센서를 장착해 주변 환경을 실시간으로 인식하고 장애물을 회피할 수 있다. LBR 이바는 진동없이 웨이퍼 카세트를 안전하게 다룰 수 있다.

쿠카는 이번에 그리퍼시스템과 제어 소프트웨어도 새로 개발했다. 그리퍼 시스템에 대해선 특허를 신청했다. 웨이퍼 핸들링 소프트웨어는 생산괸리시스템(MES:manufacturing execution system)과 효과적으로 통합해 운용할 수 있다.

장길수  ksjang@irobotnews.com
장길수의 다른기사 보기  
폰트키우기 폰트줄이기 프린트하기 메일보내기 신고하기
트위터 페이스북 구글+ 밴드 뒤로가기 위로가기
인기기사
1
코로나19에 대응하는 로봇 경진대회와 교육용 로봇산업 미래
2
한국로봇산업진흥원, 코로나19 극복 위해 농촌 일손도와
3
뷰노, AI 의료 음성인식 솔루션 서울아산병원에 공급
4
현대로보틱스, KFC와 치킨제조 로봇 만든다
5
KETI-SK텔레콤, 인공지능 라이다 시스템 상용화 '맞손'
6
ABB, 폭스바겐 전기차 공장에 산업용 로봇 800대 공급계약
7
상상이 현실이 되는 순간
8
세계 최대 로봇학술대회 'IROS 2020 온디맨드' 25일 개막
9
유니버설 로봇-LG전자, 로봇 레스토랑 선보인다
10
징둥물류, "5년 내 10만 대 물류 로봇 설치 운영"
이 기사에 대한 댓글 이야기 (0)
자동등록방지용 코드를 입력하세요!   
확인
- 200자까지 쓰실 수 있습니다. (현재 0 byte / 최대 400byte)
- 욕설등 인신공격성 글은 삭제 합니다. [운영원칙]
이 기사에 대한 댓글 이야기 (0)
로봇신문 소개기사제보광고문의불편신고개인정보취급방침이메일무단수집거부청소년보호정책    *국제표준간행물번호 ISSN 2636-0381 *본지는 인터넷신문위원회 자율심의 준수 서약사입니다
08298) 서울 구로구 공원로 41(구로동, 현대파크빌 427호)  |  대표전화 : 02)867-6200  |  팩스 : 02)867-6203
등록번호 : 서울 아 02659  |  등록일자 : 2013.5.21  |  발행인·편집인 : 조규남  |  청소년보호책임자 : 박경일
Copyright © 2013 로봇신문사. All rights reserved. mail to editor@irobotnews.com