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쿠카, 반도체 클린룸용 모바일 매니퓰레이터 개발웨이퍼 핸들링 공정에 투입 가능
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승인 2019.08.26  13:27:57
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독일 산업용 로봇업체인 쿠카(Kuka)가 반도체 클린룸용 모바일 매니퓰레이터를 개발했다.

‘더 로봇 리포트‘에 따르면 쿠카는 웨이퍼 공정에 투입할 수 있는 모바일 메니퓰레이터를 개발했다. 웨이퍼를 보관하는 카세트를 자동으로 운반하고 핸들링할 수 있는 로봇이다. 경량급 협동 로봇인 ’LBR 이바(iiva)’와 표준형 AGV(automated guided vehicle)인 ‘KMR 200 CR’을 결합했다.

이동형 플랫폼인 ‘KMR 200 CR'은 매커넘 바퀴를 장착하고 있어 전방향 이동이 가능하다. 이동형 플랫폼에 다수의 센서를 장착해 주변 환경을 실시간으로 인식하고 장애물을 회피할 수 있다. LBR 이바는 진동없이 웨이퍼 카세트를 안전하게 다룰 수 있다.

쿠카는 이번에 그리퍼시스템과 제어 소프트웨어도 새로 개발했다. 그리퍼 시스템에 대해선 특허를 신청했다. 웨이퍼 핸들링 소프트웨어는 생산괸리시스템(MES:manufacturing execution system)과 효과적으로 통합해 운용할 수 있다.

장길수  ksjang@irobotnews.com
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