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450 mm웨이퍼 대응 얼라이너,반송 로봇 선뵈6일 폐막한 세미콘 재팬 2013 출품동향
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승인 2013.12.10  17:54:02
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[조영숙=도쿄통신원] 일본국제반도체전시회(SEMICON 재팬 2013)가 지난 4일부터 6일까지 치바 마쿠하리 전시장에서 전세계 800여 업체가 참가한 가운데 열려 5만7000여명의 관람객이 다녀갔다고 일본의 EE타임즈재팬이 9일 보도했다.

이번 전시회에서는 450 mm웨이퍼에 대응한 얼라이너와 반송로봇 제품들이 선을 보여 관심을 모았다. 그러나 출품업체들은 "450mm웨이퍼에 대응하는 제품은 각사 모두 전망이 불투명한 상태가 계속 되고 있다"고 입을 모았다.

제이이엘(JEL)은 4축 수평다관절형 클린로봇(웨이퍼 반송로봇) 'GCR4280'과 얼라이너 'SAL30J1HV' 등 450mm 웨이퍼에 대응하는 제품을 선보였다. 얼라이너는 450mm 웨이퍼의 외주와 T7코드ㆍ노치를 기준으로 고속, 고정밀도로 위치 결정을 해준다. 독자적인 이미지 센서를 탑재하고 있어 코드ㆍ노치를 읽을 수 있으며 450mm와 300mm 겸용타입의 제작도 가능하다.

▲ JEL이 출품한 반송로봇(왼쪽)과 얼라이너. 시연에서 T7코드를 읽어내 위치 결정을 하고 있다.

다이헨은 개발중인 450mm 웨이퍼 대응 얼라이너, 반송 로봇을 출품했다. 현장에서는 알루미늄의 450mm 더미 웨이퍼를 이용해 데모를 실시했다. 다이헨측은 웨이퍼를 얼라이너에 반송, 설치했을 때의 진동이나 처리 속도, 장치의 소형화 외에 가격을 얼마나 내릴 수 있을지가 관건이라고 밝혔다.

▲ 다이헨이 출품한 반송 로봇(왼쪽)과 얼라이너

450 mm웨이퍼는 아직 전망이 불투명한 상황
다이헨 측은 "최근에서야 겨우 450mm 웨이퍼에 대응하는 얼라이너와 반송 로봇의 수요가 발생하고 있지만 역시 450 mm 웨이퍼에 대해서는 업계전체가 전망이 불투명한 상황"이라며 "장치 제조업체가 상황을 지켜 보고 있다"고 전했다.

450 mm 웨이퍼는 막대한 투자가 필요하지만 투자만큼 수익을 낼수 없다는 것이 약점으로 지적된다. 450mm 웨이퍼 가격은 2년전에 비교하면 큰 폭으로 내렸다. 또한 몇년전까지만 해도 다결정 웨이퍼만 가능했으나 지금은 단결정 웨이퍼 제공이 가능해졌다. 직경과 두께 정도로만 비교가 가능했던 사양도 평탄도와 파티클 데이터를 포함할 수 있게 될만큼 기술적 진보를 이루었다.

조영숙  ad@irobotnews.com
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